HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机使用HMDS（六甲基二硅氮烷）对晶圆表面进行快速、均匀、经济高效的涂布，以提高光刻胶的附着力。这些多功能系统还支持图像反转，形成具有与正光刻胶相同的分辨率和易用性的负图像。

光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱应用多晶硅，石英，太阳能电池片、金属、贵金属、蓝宝石、SiC(碳化硅)、磷化铟、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料。

HMDS烘箱专用真空泵，HMDS系统无油泵较小的噪音 - 一台干泵却拥有较好的真空度，较大的抽速 - 停机时间短，维护成本更低

HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱是涂胶前对硅片表面进行处理，可以增加硅片表面水分子的接触角，使衬底表面从亲水性转化为疏水性

光伏电池片HMDS处理系统，HMDS预处理烘箱就是涂胶前要进行增粘处理。由于衬底表面吸水特性，使疏水的光刻胶无法与亲水的晶圆表面结合良好。未经过HMDS表面处理的晶圆在后道工艺中容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

HMDS烘箱，太阳能电池片HMDS烘箱适用行业：MEMS、太阳能、电池片、滤波、放大、功率等器件，晶圆、玻璃、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料。

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵真空干泵具有(50dBA)和低振动运行的， 密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。