氮气烘箱，N2洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。烘箱整机为不锈钢结构，全部采用无尘材料。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。

hmds熏蒸机，hmds熏蒸烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

精密烤箱，封装烤箱适用于烘烤有化学性气体欲烘烤物品、基板应力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。广泛使用于PCB、电子、电机、通讯、电镀、塑料、五金化工、印刷、喷涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高温去应力、老化、烘干、定型、加工等。

半导体烤箱，wafer烤箱于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料预处理烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

软烘烤箱，硅片烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱主要用于：晶圆、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

晶圆烤箱，超洁净烤箱工作室内充满了惰性气体N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧烤箱主要用于：晶圆、硅片、玻璃等制程烘烤，IC包装，LCD,晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等电子、IC、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门。

坚膜烘箱，真空坚膜烤箱用于半导体制造中半导体衬底片、硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料显影后坚膜烘烤；也适用于涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤以及电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。