真空无氧化烤箱(BCB厌氧固化烤烘箱)是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多级升温保温的方式,在规定的时间从室温升至第一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。
无氧烘箱,无氧烤箱氧浓度仪应用于精密电子元件、PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,模拟线性升降温环境,特别适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。
小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备 用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属 膜,主要用于蒸镀电极及有机半导体材料的物理化学性能研究实验研究 。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。