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反转真空烘箱  图像反转氨气炉

反转真空烘箱 图像反转氨气炉

简要描述:

反转真空烘箱 图像反转氨气炉用于钣金加热、淬火、退火、焊接等工艺;在电子制造业中,可以用于半导体器件制造中的退火和腐蚀等工艺;在航空航天制造业中,可以用于航空发动机和航天器材料的热处理等。

反转真空烘箱 图像反转氨气炉用途


   图像反转(image inversion)是一种使用正胶暗场掩模版做出岛区的工艺。

曝光小尺寸图形时,倾向于使用正胶。正胶适于使用暗场掩模版做孔洞。暗场掩模版大部分被覆盖,因为铬不会像玻璃一样易损,所以缺陷比抛光较少。然而,一些掩模版用来曝光岛区。而不是孔洞,比如金属层掩模版上是岛区图形。

在曝光结束后,光刻胶里的图像与想要得到的图像是相反的,也就是说,如果抛光接着显影的话,会得到孔洞而不是岛区。

反转真空烘箱 图像反转氨气炉性能

尺寸(可定制)

300×300×300(mm)

450×450×450(mm),可定制

  材质

内箱采用SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板静电喷塑

温度范围

RT+50-200℃

温度分辨率

0.1℃

温度波动度

≤±1℃

操作模式

人机界面

升温速率

≤5℃/min

气体

2路供气

真空度

0.1~100KPa


图像反转系统 Lmage inversion Oven

       已经在很多领域得到了广泛应用。比如,在汽车制造业中,可以用于钣金加热、淬火、退火、焊接等工艺;在电子制造业中,可以用于半导体器件制造中的退火和腐蚀等工艺;在航空航天制造业中,可以用于航空发动机和航天器材料的热处理等。


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