HMDS专用烘箱，HMDS真空涂胶系统适用行业：MEMS、滤波、放大、功率等器件，晶圆、玻璃、贵金属，SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO（氧化锌）、GaO（氧化镓）、金刚石等第三代半导体材料。

HMDS增粘剂烘箱，HMDS涂胶机即HMDS(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布，涂胶工艺的配置机台。

OAP烘箱，OAP处理烘箱处理主要是为了改善亲水性表面，变为疏水性，从而达到增加光刻胶粘附性的作用。

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silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、预处理性能更好 2、处理更加均匀 3、效率高 4、更加节省药液 5、更加环保和安全 6、低液报警装置 7、可自动吸取HMDS功能 8、可自动添加HMDS功能 9、HMDS药液泄漏报警功能 10、HMDS紧急疏散功能 11、数据记录打印功能